| 薄膜抵抗値の調整、配線パターンの修正 |
| レーザトリミングシステム CTTM-LD(1)〜(3) |
|
|
●レーザ光はレンズ等により数10μmのスポット光に集光できるため、非常に微細な領域を除去加工できます。この原理を用いてセラミック表面に形成された薄膜抵抗の抵抗値を規定値に調整するために、その微小部分を除去したり、プリント基板の配線パターンの形状不備部分を修正することを行うのがレーザトリミングシステム：CTTM-LD（1）〜（3）です。
●CTTM-LD（1）〜（2）は、光源にLD励起のYAGレーザ光を使用しており目的とする加工の種類によりCTTM-LD-（1）とCTTMLD-（2）を使い分けます。波長変換技術の採用により（2）の方が（1）より微細な（約1/2のビームスポット）加工が可能です。
●また多岐に亘る微細加工要求に応えるべくラインナップしているのがCTTM-LD- （3）です。これはイージーオーダメイドとも言える商品で光学系は基本的に（1）または（2）を使用して光源のレーザを最適なものを選択する仕様です。永年の経験と技術により使用するレーザ波長の選択も含めた、内外を問わない「最適のレーザ光源」を推奨し、またシステムアップいたします。
|
|
■特 長
●トリミング性能を重視した光学パーツの選択と光学設計を施しています。
●f・θレンズの選択により刻印エリアの選択ができます。
●CTTM- （2）はLD励起方式のグリーン（2倍波＝入＝532nm）を採用しているため、より微細な加工が可能です。
●ビームエキスパンダ等のオプション光学系の充実により幅広い加工要求に対応できます。
●CTTM- （1）・（2）ともに「同軸観察光学ユニット」を標準装備しています。
●標準では抵抗測定ユニットは付属していません。
●外部からの信号で作動します。（パルスジェネレータ等での信号の制御の発生はお客様にてお願い致します。）
●オプションの移動ステージユニット（XY自動ステージ等）は本カタログ後部のステージユニットのラインナップを参照ください。
●移動ステージ・抵抗測定ユニット・ルーチンソフト等仕様打ち合わせによる「完全フルシステム」のシステムアップも可能です。（要打ち合わせ）
|
高い信頼性
●システム状態表示画面の採用により、非常時への対応が容易です。
|
|
■標準参考価格
CTTM-LD（1）：\6,400,000
CTTM-LD（2）：\6,900,000
（※詳細見積りは仕様確認のうえ提出させて頂きます）
|
レーザトリミング（抵抗）
|
■仕 様
|
レーザヘッド部
|
| レーザ部 |
形式 |
レーザの種類 |
固体
レーザ |
| レーサ媒質 |
Nd:YAG及びSHG(2倍波）非線形結晶 |
| 光共振器 |
ファプリ・ペロー型（基本波、及びSHG共） |
| 励起形式 |
連続励起、Q−スイッチ（Q・SW）発振 |
| 励起光源 |
LDユニット |
| Q−SW方式 |
光共振器内音響光学（AO）素子シャッターによる |
| 光遮断方式 |
回転ソレノイド式、光共共振器内機械式シャッター |
| ガイド光 |
670nmLD、コリメートレンズ付き |
| 光学物性 |
発振波長 |
（1）λ＝1.06μm (2）λ＝0.532μm（非線形結晶による） |
| 光出力（CW発振時） |
（1）定格20W以上 （2）定格5W以上 |
| 発振器モード |
低次モード |
| ビーム出力径 |
1.5mm（ビームエクスパンダ前） |
| 電気特性 |
放電電流 |
1A=54A（定電流制御） |
| 放電電圧 |
5V Max |
| Q−SW周波数 |
0.1＝60kHz（RF24MHz） |
| スキャニング部 |
形式 |
光走査方法 |
ガルパノモータ駆動の回転ミラーによる（×、Y軸共通 |
| 光集束 |
fθレンズによる |
| ビームエキスパンダ |
凹レンズ、凸レンズ組合わせ3倍、6倍 |
光学特性
（×3ビームエクスパンダ使用時） |
|
標準fθレンズ |
短焦点fθレンズ |
長焦点fθレンズ |
| 焦点距離 |
f＝150mm |
F＝100mm |
F＝300mm |
| 光走査範囲 |
φ120mm
(85mm□） |
φ60mm
(42mm□) |
φ240mm
(170mm□) |
ワークディスクンス
(保護ガラスホルダーの下端面からの距離） |
175mm |
117mm |
359mm |
| 集束スポット |
約0.2 |
約0.1mm |
約0.1 |
約0.05mm |
約0.4 |
約0.2mm |
| 位置分解能 |
7μm（計算値） |
5μm（計算値） |
15μm（計算値） |
| 位置精度 |
±14μm（計算値） |
±10μm（計算値） |
30μm（計算値） |
| 焦点深度（参考値） |
±1.7mm（計算値） |
±0.7mm（計算値） |
±3.4mm（計算値） |
| 走査能力 |
走査速度
（fθ=150mmの場合） |
27.3m/s 1/2ストローク平均 |
|
制御部
|
| システム
部
|
PC部 |
CPU |
5×86・133MHz |
| ディスプレー |
液晶タッチパネルDSTN12.1lnch |
| OS |
MS ・DOS Ver.6.2 |
| 半導体メモリ |
8MB |
| 主記憶装置 |
2.5lnch HDD3.2GB |
| 補助記憶装置 |
3.5" FDD（2HD）2モード |
| 拡張機能 |
外部パラレル制御、外部シリアル制御 |
| 電源部 |
LD電源 |
DC5Vx54A |
| 低圧電源 |
DC24V2台、DC15V2台 |
| Q−SWドライバ |
24MHz50W |
| 空冷チラー部 |
冷却水 |
精製蒸留水 |
| 冷却水温度 |
25℃±1.0℃ |
| 冷却水水量 |
タンク容量：約2.8リットル 配管内容量：1リットル |
|
操作
|
| メインスイッチ |
前面扉部のキースイッチによる |
| 操作方法 |
液晶タッチパネル、パネルスイッチ、キーボード併用 |
| パネルスイッチ |
非常停止、シャッター開閉、刻印開始 |
| 図形入力 |
形式 |
方式 |
DXF形式の図形ファイル（FDによる入力コンバータ使用） |
| レイヤー数 |
10
|
ベクトル数
(1レイヤー当たり） |
約3000要素 |
| 図形刻印条件 |
図形回転 |
0℃〜360℃ |
| 最小線幅 |
約0.05mm（fθ＝150mm、黒アルマイト使用） |
| 太文字指定 |
0〜15 |
| 刻印位置指定 |
X 、Y（0.01mm単位で指定） |
■ユーティリティ及び運転条件・設置環境等
| 電源 |
| 仕様 |
仕様 |
単位 |
| 電圧 |
AC200：±10％3φ |
∨ |
| 電流 |
10（50／60Hz） |
A |
| 接地 |
第3種接地 |
|
| 接続 |
2P、接地付き |
|
| ケーブル長 |
5 |
m |
| 色分け |
R（赤）、S（白）、Ｔ（黒） |
|
| 推奨漏電ブレーカ |
定格電流 |
10 |
A |
| 定格電圧 |
200 |
V |
| 極数、素子数 |
2P |
|
| 感度電流 |
100 |
mA |
| ※貴社では当該電源ラインに何らかの漏電保護対策がとられている場合にはこの限りではありません。 |
| 冷却水（蒸留水） |
| 容量 |
28リットル |
| 交換 |
〜6ヶ月 |
| 設置 |
| 場所 |
- レーザヘッド部は平坦場で剛性の高い架台に、所定のボルト穴を用いてネジ止めで固定して下こい。またはオプションの専用架台を用いることをお勧め致します。
- ワークについてはヘッドと平行であること、刻印中に振動等の影響を受け無いことが条件となります。
|
| 設置高さ |
- レーザヘッド部はLDハウス交換の時にハウス内の冷却水をタンクに逃がす為、制御部内の冷却水タンクの水面より高い位置に設置する必要があります。標準的には制御部の設置床面に対して50cm以上の位置に設置して下さい。
|
■操作上のご注意
|
本装置は本体に添付される取扱説明書を十分にご理解したうえで操作願います。特に内部に高電圧を発生する電源を含み、また強力なレーザ光を発生する為に、取扱いを誤ると大変危険です。
レーザ光に関する安全基準としてはJlS ・C6802レーザ製品の安全基準に準した対策を立てて下さい。 |
■保障及びメンテナンス
| 無償保証 |
取扱説明書等の注意に従った正常な使用状態で発生する故障は納入検収後1年間無償修理をいたします。尚以下に
例示される様な設計条件に合致しない条件で動作、保存された場合に発生する不具合や消耗品の交換についてはその限りではありません。
- 光学素子の表面の汚れやそれに付随して発生する不具合
- お客様によるLDハウスの交換により発生した不具合
- ご使用上の誤り及び不当な修理や改造による不具合
- 火災、地震、風水害、落雷その他天変地異等の不可効力な自然災害による不具合
|
| 一般保障、メンテナンス |
上記無保証の範囲外で本製品に不具合があった場合、装置移動の請け負い、一般点検調整のメンテナンス、取扱い
説明について、以下について有償で対応いたします。
- 交換部品代金実費
- 技術料
- 出張旅費、宿泊費
- 輸送費、通信費
|
| 保障、メンテナンスに関する連絡先 |
受付窓口担当営業がお受け致します。貴社担当は右記の通りです。
〒326-0842 栃木県足利市今福町706-2
シグマサイバーテック株式会社 営業技術部
TEL：0284-22-2570 FAX：0284-21-4826
メンテナンス担当 同上
受付け時間 午前9：00〜年後6：00 土曜、日曜、祭日を除く
対応時同（標準） 受付け後2日以内※ |
■据え付け及び調整等
| 項目 |
場所 |
その他 |
| 納品、据付 |
貴社指示場所 |
車上渡し |
| 取扱い説明 |
同上 |
振付けと同時実施 |
| 検収 |
同上 |
標準検収表による |
■その他付帯事項
|
本仕様書に書かれていない事項で疑義が生じた場合は、双方の話し合いの上で決定致します。
本書に記載する内容は、本体の仕様、形状などの改良により予告なしに変更する場合がありますので、予めご了承願います。 |
■オプション光学パーツ
|
f・θレンズ
|
ビームエキスパンダ |
|
|
|
| 焦点距離（mm） |
波長（nm） |
品番 |
価格（\） |
倍率（倍） |
波長（nm） |
品番 |
価格（\） |
| f＝100 |
1064 |
CTfθ−100 |
別途見積 |
3× |
1064 |
CLBE−3 |
38,000 |
| 532 |
CTfθ−100G |
別途見積 |
532 |
CLBE−3G |
50,000 |
| f＝150 |
1064 |
CTfθ−150 |
別途見積 |
6× |
1064 |
CLBE−6 |
38,000 |
| 532 |
CTfθ−150G |
別途見積 |
532 |
CLBE−6G |
50,000 |
| f＝300 |
1064 |
CTfθ−300 |
別途見積 |
8× |
1064 |
CLBE−8 |
40,000 |
| 532 |
CTfθ−300G |
別途見積 |
532 |
CLBE−8G |
54,000 |
|
※その他の焦点距離への対応製作できます。
|
※その他の倍率へも対応製作できます。
|
■CTTM-LD(3)使用推奨レーザ及び製造・販売元（1部抜粋） ※目的により「最適レーザ」を提案します。
-
LYCM-LD20シリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝1.06μm、平均出力20W以上） （シグマ光機）
-
LYCM-LD20Gシリーズ（LD励起YAGグリーンレーザ：入＝532nm、平均出力5W以上） （シグマ光機）
-
Q200αシリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝1.06μm、平均出力200W以上） （片岡製作所）
-
AVIAシリーズ（LD励起YVO4レーザ：入＝1.06μm、平均出力40W以上） （コヒレント社）
-
AVIAシリーズ（LD励起YVO4レーザ：入＝532nm、平均出力20W以上） （コヒレント社）
-
INAZUMAシリーズ（LD励起YVO4レーザ：入＝1.06μm、平均出力35W以上） （スペクトラフィジックス社）
-
INAZUMAシリーズ（LD励起YVO4レーザ：入＝532nm、平均出力20W以上） （スペクトラフィジックス社）
-
SL185シリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝1.06μm、平均出力10W以上） （NEC）
-
Applied Harmonicsシリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝532nm、平均出力10W以上） （フォトンリサーチ）
-
Applied Harmonicsシリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝355nm、平均出力5W以上） （フォトンリサーチ）
|
■関連製品
| 手動ステージ |
自動ステージ |
レーザ電源（CW用大出力LD電源） |
|
|
|
 |
|
