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デジタルガルバノ
　　　 光学ユニット!!		 DG・DB
           シリーズ
スキャニング方式レーザー加工システムのなかで、ガルバノスキャナシステムはレーザを走査する主要構成部品で、高精度な繰り返し位置決めと超高分解能が要求されていました。しかし、これまでガルバノスキャナシステムは、そのほとんどがアナログ方式のもので、繰り返し位置決め精度と分解能は十分ではありませんでした。そこで、レーザ微細加工システムのさらなる高精度化のニーズに応えるために、画期的な「オールデジタル方式ガルバノスキャナシステム(商品名：MIRAMOTION)」を新たに製品化しました。今後、近年市場が拡大しているレーザトリミング、高精度レーザ微小加工システムに応用展開してまいります。更に当社では上記デジタ
ル式ガルバノスキャナシステムを有効に応用展開が可能になるポストスクリプト対応の専用の「マーカーソフト」を同時に作成し、その対応範囲を広げております。ラスター、ぺクターのどちらの制御も可能です。当社のデジタルガルバノ光学ユニットはガルバノミラー(X・Y)・fθレンズを組み込んだ構成ユニットですので波長・ビーム径・加工範囲等により下記ラインナップより選択してください。

　
■用途と応用例
  • レーザトリミング加工機用スキャニング光学系
    (膜取・切削)
  • レーザスクライブ加工機用スキャニング光学系
    (薄切・分解)
  • レーザエッチング加工機用スキャニング光学系
    (パターニング)
  • レーザドリルV加工機用スキヤニング光学系
    (穴あけ)
  • レーザトレパニング加工機用スキャニング光学系
    （穴くり抜き）
  • レーザマーキング加工機用スキャニング光学系
    (刻印‐彫刻)
型　　番
波長（nm)
入射ビーム径（mm)
W・D(mm)
加工範囲（mm)
走査角度（°）
f・θレンズ
加工スポット系（μm)
DGBU-1064-100 1064 Φ14 100 70×70 25 H 12
DGBU-1064-167 1064 Φ14 167 105×105 25 H 14
DGBU-1064-288 1064 Φ20 288 175×175 25 H 20
DGBU-1064-350 1064 Φ20 350 212×212 28 H 20
DGBU-1064-880 1064 Φ20 880 500×500 28 H 55
DGBU-1064-60T 1064 Φ10 60 20×20 13 TL 5
DGBU-1064-142T 1064 Φ12 142 60×60 22 TL 10
DGBU-1064-166T 1064 Φ15 166 70×70 18 TL 14
DGBU-1064-278T 1064 Φ25 278 140×140 30 TL 10

DGBU-532-98 532 Φ25 98 50×50 25 H 10
DGBU-532-160 532 Φ25 160 80×80 25 H 20
DGBU-532-285 532 Φ25 285 150×150 25 H 18
DGBU-532-323 532 Φ28 323 175×175 28 H 18
DGBU-532-845 532 Φ28 845 500×500 28 H 35
DGBU-532-56T 532 Φ6 56 18×18 13 TL 6
DGBU-532-79T 532 Φ12 79 45×45 23 TL 10
DGBU-532-113T 532 Φ20 113 60×60 17 TL 7
DGBU-532-240T 532 Φ20 240 70×70 20 TL 10

DGBU-355-110 355 Φ12 110 60×60 25 H 12
DGBU-355-180 355 Φ12 180 100×100 25 H 18
DGBU-355-311 355 Φ12 311 160×160 25 H 33
DGBU-355-350 355 Φ20 350 212×212 28 H 20
DGBU-355-880 355 Φ24 880 500×500 28 H 55
DGBU-355-75T 355 Φ6 75 18×18 13 TL 4
DGBU-355-150T 355 Φ6 150 60×60 22 TL 7
DGBU-355-269T 355 Φ10 269 60×60 17 TL 8

DGBU-266-25 266 Φ4 25 90×90 18 H 16
DGBU-266-137 266 Φ5 173 70×70 28 H 8
DGBU-266-200 266 Φ5 200 100×100 28 H 10
DGBU-266-69T 266 Φ6 69 18×18 15 TL 50
DGBU-266-140T 266 Φ6 140 60×60 22 TL 6
DGBU-266-250T 266 Φ10 250 55×55 17 TL 6

*表中のHは標準f・θレンズ、TLはテレセントリックf・θレンズのことです。
*加工スポット径はHタイプはレンズ中心値、TLタイプは平均スポットの計算値です。
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