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| 3DS-（1）～（4） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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高度な微細加工・計測を可能とする為には安定した設置環境が必要で、振動の影響を極力抑える事が重視されます。ここで掲載する防振機構・防振台はこれらの不安を解消する高性能満載のスペックのものです。 ■用途 ●レーザ加工・計測システム紡振ユニット用 ●半導体製造・検査・システム防振ユニット用 ●液晶・PDP・有機EL製造・検査装置防振ユニット用 ●表面形状測定システム防振ユニット用 ●各種光学顕微鏡システム防振ユニット用 ●その他超精密加工・計測ユニット防振用  |
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| 特長 Featur | 用途 Using' | 基本使用配置 Ｂａｓｉｃ ａｒｒａｎｇｅｍｍｍｅｎｔ ｏｆ ｕｎｉｔ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 新方式空Feature気ばねの採用により全高108mm～140mmとコンパクト化に成功し、更に固有振動数垂直2.0Hz、水平3.0Hｚとい う高性能を兼ね備えた画期的な三次元空気'ばねを実現させました. 今まで振動に悩まされていた精密測定機器や精密製造装置の下部にセットして頂くだけでより高い精度の測定や製造をお約束いたします. |
光学実験台.半導体製造装置、電子顕徴鏡、レーザー実験装置、レーザー干渉計表面形状測定機、各種光学顕微鏡、STM/ Ｓcanning tunnel microscope、AFM/Atomic force microscope,
描画装置、硬度計.その他精密測定機Laser Experimentｓ.Ｐｒｏｄｕｃｅ Ｍａｃｈｉｎｅ ｏｆ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ.Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｅ.Ｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ.Ｆｏｒｍ ，Ｓｕｒｆａｃｅ，Ｃｏｎｔｏｕｒ Ｍｅａｓｕｒｅｅｍｅｎｔｓ. |
3dsシリーズは通常4個1セットでご使用していただきますが.偏荷重|こよりぱね数量の増加を、おお勧めする場合もあります．
Ｔｈｅ ｓｅｒｉｅｓ ｏｆ 3Ｄ－ａｉｒ ｓｐｒｉｎｇ ｕｎｉｔ ｉｓ ｕｓｕａｌｌｙ ｕｓｅｄ ａｓ ｐａｒｔ ｏｆ ａ 4－ｐｉｅｃｅ ｓｉｎｇｌｅ ｕｎｉｔ.. ｌｎ ｃａｓｅｓ， ｔｈｅ ｌｏａｄ ｏｆ ｄｅｖｉｃｅｓ requires additonal piece of the unit, |
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| Ｗｉｔｈ ｔｈｅ ａｄｏｐｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ｎｅｗ ａｉｒ ｓｐｒｉｎｇ ｍｅｔｈｏｄ， ｗｅ ｈａｖｅ ｓｕｃｃｅｅｄｅｄ ｉｎ ｐｒｏｄｕｃｉｎｇ ｃｏｍｐａｃｔ 3ｄｓ ｖｉｂｒａｔｉｏｎ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ ｓｅｒｉｅｓ． Ｔｈｅ ｔｏｔａｌ ｈｅｉｇｈｔ ｏｆ ａ ｕｎｉｔ ｉｓ ｂｅｔｗｅｅｎ 108ｍｍ ａｎｄ 140．Ｆｕｒｔｈｅｍｏｒｅ， ｅｐｏｃｈ－ｍａｋｉｎｇ ｔｈｒｅｅ－ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ ａｉｒ ｓｐｒｉｎｇ ｉｓ ｕｐｇｒａｄｅ ｆｏｒ ｎａｔｕｒａｌ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｏｆ 2.0Ｈｚ ｉｎ ａ ｖｅｒｔｉｃａｌ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ ａｎｄ 3.0Ｈｚ ｉｎ ａｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ．Ｗｅ ｃａｎ ｇｕａｒａｎｔｅｅ ｔｏ ｅｘｃｌｕｄｅ ｔｒｏｕｂｌｅｓｉｍｅ ｖｉｂｒａｔｉｏｎ ｏｎｌｙ ｗｈｅｎｐｌａｃｅ ｔｈｅ 3ｄｓ ｕｎｉｔ ｔｏ ｔｈｅ ｂｏｔｔｏｍ ｏｆ ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ ｏｒ ｍｅａｓｕｒｉｎｇ ｄｅｖｉｃｅｓ． |  |
レギュレーターフィルター.ストップパルプ、配管チューブは付属品です.レギユレ‐ターは垂直に立てておかなければ正常に機能しません。左図の寸法のブケットが付いているので固定をして下さぃ。
The regulator, filter, stop valve, and piping tube are accessories, Please set up the regulator vetically for normal operation, Refer to the filter bracket size on the left chart, |
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卓上型空気ばね式防振台
UA-0405・0605・0806/UM・0405・0506・0806 |
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AUTO TYPE |
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MANUAL TYPE 水平維持 ：ハンドボンプ手動式 空気源 ：ハンドボンプ 付属品 ：ハンドポンプ、虫回しドライバー |
| 近年、益々高精度化が進む測定機器や実験機器を安定した設置環境下で使用する場合、振動の影響を極力抑えることが重視されています。新開発UM/UA卓上型空気ばね式防振台は「クリーン」、「高性能」をテーマに、搭載する機器の性能を遺憾無く発揮させ、従来にないコンパクトな形状に高性能満載のスペックを実現させました。 | |
| 特長 Features |
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| 仕様書 Specification |
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形 式
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UA,UM-0405
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UA-0605
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UM-0508
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UA,UM-0806
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周有振動数
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1.9～2.4Hz
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防振方式
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ダイヤフラム型空気ばね
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水平維持
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A：メカニカルバルプによる自動（空気供給圧0.25～0.5Mpa）M：手押しポンプによる手動式 |
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搭載盤
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ステンレス仕上げ
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搭載可能重量（kg）
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150
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全体寸法（mm）(A×B×C）
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440×540×56H | 600×500×58H | 500×600×56H | 800×800×56H | |
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標準付属品
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A：6mm×5mチューブ付き ワンタッチ継ぎ手 PT1/4オネジ M：ハソドボンプ 虫回しドライバ |
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| 価格 | UA | \215,000 | \235,000 | \265,000 | |
| UM | \200,000 | \220,000 | \250,000 | ||
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ブレッドボード（光学定盤） B-?シリーズ |
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AS型、RB型と同仕様の定盤です。下記サイズ以外の寸法及び形状（切り欠、角穴抜、丸穴等）も対応可能です。是非当社までご連絡ください。 |
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型 式
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B-?107
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B-?1010
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B-?127
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B-?1210
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B-?1510
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B-?1512
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B-?1810
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B-?1812
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B-?2010
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| 定盤寸法 | 1000×700 | 1000×1000 | 1200×700 | 1200×1000 | 1500×1000 | 1500×1200 | 1800×1000 | 1800×1200 | 2000×1000 |
| 定盤厚さ（mm） | 109 | 209 | |||||||
| 定盤内部 | スチールハニカム構造 | ||||||||
| 定盤上面 | 端面25mmより内部50XY M6タップ加工 着磁性ステンレス5Tmm使用 | ||||||||
| 定盤上面 | 処理電解洗浄 | ||||||||
| 定盤側面 | ビニールレザー貼 | ||||||||
| 定盤下面 | ステンレス4Tmm使用 | ||||||||
| 製品重量（kgf） | 64 | 92 | 77 | 108 | 164 | 195 | 196 | 234 | 218 |
| 価 格（\） | 142,000 | 195,000 | 174,000 | 245,000 | 315,000 | 348,000 | 378,000 | 410,000 | 390,000 |
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型 式
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B-?2012
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B-?2412
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B-?2415
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B-?3012
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B-?3015
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B-?3612
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B-?3615
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B-?4012
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B-?4015
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| 定盤寸法 | 2000×1200 | 2400×1200 | 2400×1500 | 3000×1200 | 3000×1500 | 3600×1200 | 3600×1500 | 4000×1200 | 4000×1500 |
| 定盤厚さ（mm） | 209 | 309 | |||||||
| 定盤内部 | スチールハニカム構造 | ||||||||
| 定盤上面 | 端面25mmより内部50XY M6タップ加工 着磁性ステンレス5Tmm使用 | ||||||||
| 定盤上面 | 処理電解洗浄 | ||||||||
| 定盤側面 | ビニールレザー貼 | ||||||||
| 定盤下面 | ステンレス4Tmm使用 | ||||||||
| 製品重量（kgf） | 258 | 317 | 395 | 450 | 570 | 550 | 680 | 615 | 755 |
| 価 格（\） | 440,000 | 510,000 | 616,000 | 676,000 | 940,000 | 900,000 | 1,080,000 | 980,000 | 1,240,000 |
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型 式
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B-?66
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B-?68
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B-?610
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B-?612
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| （D×W×Tmm） | 600×600×59 | 600×800×59 | 600×1000×59 | 600×1200×59 |
| 定盤内部 | スチールハニカム構造 | |||
| 定盤上面 | 端面25mmより内部50XY M6タップ加工 着磁性ステンレス5Tmm使用 | |||
| 定盤上面 | 処理電解洗浄 | |||
| 定盤側面 | ビニールレザー貼 | |||
| 定盤下面 | ステンレス4Tmm使用 | |||
| 製品重量（kgf） | 30 | 40 | 50 | 60 |
| 価 格（\） | 91,000 | 103,000 | 126,000 | 148,000 |
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