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微小セラミック基板のブレークダウン（分割）
レーザスクライブ・カッティングシステム
CTSB-LD（1）〜（3）／CTCTLD（1）〜（3）

 レーザ光はレンズ等により数10μのスポットに全エネルギーを集約することができ、高い強度の非接触加工が可能となります。

半導体基板やセラミック基板を小片にブレークダウン（分割）するために、レーザ光で材料表面に幅の狭い、深い溝を形成するシステムがレーザスクライピングシステム：CTSB−LD−（1）〜（3）で、直接ブレークダウン（分割）するシステムがレーザカッテイングシステム：CTCT−LD−（1）〜（3）です。どちらのシステムでも（2）は（1）の約5倍のエネルギー強度があり、より高いエネルギーを必要とするスクライブ、カッテインク加工に向いています。

また多岐に亘る加工要求に応えるべくラインナップしているのがCTSB−LD−（3）、CTCT−LD−（3）です。これはイージーオーダーとも言える商品で光学系は基本的に（1）または（2）を使用して光源のレーザを最適なものにする仕様です。永年の経験と技術により使用するレーザ波長の選択も含めた、内外を問わない「最適レーザ光源」を推奨し、またそのレーザをシステムアップいたします。

■特　長

●セラミック基板等のスクライブ、カッティング加工に最適の光学設計を施しています。
●レーザ光線をガルバノメータで振っても、オプションの自動XYステージを移動させてもレーザスクライブ、カッティング加工が可能です。
●ビームエキスパンダ等のオプション光学系の充実により幅広い加工要求にフレキシブルに対応できます。
●オプションの移動ステージユニットは本カタログ後半のステージユニットのラインナップを参照ください。
●標準装備で「同軸観察ユニット」を付属していますので、加工前の位置合わせ、加工後の観察をモニター上で行えます。
●移動ステージユニット、ルーチンソフト等仕様打ち合わせによる「完全フルシステム」のアレンジも可能です。

高い保守性


装置監視機能

簡単な操作

　

GUIと液晶タッチパネルディスプレイの併用により、主要な操作をキーボートなしで行うことができます。

外形寸法図

レーザカッティング
（セラミック：巾60μm）

■関連製品

卓上型空気ばね式防振台 レーザ保護具（メガネ等）

　

　


■仕　様

レーザヘッド部
レーザ部 形式 レーザの種類 固体レーザ
レーザ媒質 Nd：YAG及びSHG（2倍汲）非線形結晶
光共振器 ファブリ・ペロー型（基本波、及びSHG共）
励起形式 連続励起、Q−スイッチ（Q−SW）発振
励起光源 LDユニット
Q−SW方式 光共振器内音響光学（AO）素子シャッターによる
光遮断方式 回転ソレノイド式、光共振器内機械式シャッター
ガイド光 670nmLD、コリメートレンズ付き
光学物性 発振波長 （1）λ＝1.06μm （2）λ＝0.532μm（非線形結晶による）
光出力（CW発振時） （1）定格20W以上 （2）定格5W以上
発振器モード 低次モード
ビーム出力径 1.5mm（ビームエクスパンダ前）
電気特性 放電電流 1A＝54A（定電流制御）
放電電圧 5VMax
Q−SW周波数 0.1＝60kHz(RF24MHz)
スキャニング部 形式 光走査方法 ガルバノモータ駆動の回転ミラーによる（X,Y軸共通
光集束 fθレンズによる
ビームエキスパンダ 凹レンズ、凸レンズ組み合わせ3倍、6倍
光学特性（×3ビームエクスパンダ使用時） 　 標準fθレンズ 短焦点fθレンズ 長集点fθレンズ
焦点距離 f＝150mm F＝100mm F＝300mm
光走査範囲 φ120mm（85mmロ） φ60mm（42mmロ） φ240mm（170mm□）
ワークディスタンス（保護ガラスホルダーの下端面からの距離） 175mm 117mm 359mm
集束スポット 約0.2 約0.1mm 約0.1 約0.05mm 約0.4 約0.2mm
位置分解能 7μm(計算値） 5μm（計算値） 15μm（計算値）
位置精度 ±14μm(計算値） ±10μm（計算値） 30μm（計算値）
焦点深度（参考値） ±1.7mm（計算値） ±0.7mm(計算値） ±3.4mm（計算値）
走査能力 走査速度（fθ＝150mmの場合）27.3m/s1/2ストローク平均
制御部
システム部 PC部 CPU 5×86・133MHz
ディスプレー 液晶タッチパネルDSTN12・1Inch
OS MS ・DOS Ver6.2
半導体メモリ 8MB
主記憶装置 2.5Inch HDD3.2GB
補助記憶装置 3.5"FDD（2HD）2モード
拡張機能 外部パラレル制御、外部シリアル制御
電源部 LD電源 DC5Vx54A
低圧電源 DC24V2台、DC15V2台
Q ・SWドライバ 24MHz50W
空冷チラー部 冷却水  精製蒸留水
冷却水温度 25℃±1.0℃
冷却水水量 タンク容量：約2.8リットル配管内容量：1リットル
操作
メインスイッチ 前面内部のキースイッチによる
操作方法 液晶タッチパネル、パネルスイッチ、キーボード併用
パネルスイッチ 非常停止、シャッター開閉、刻印開始
図形入力 形式 方式 DXF形式の図形ファイル（FDによる入力、コンバータ使用）
レイヤー数 10
ペクトル数（1レイヤー当たり） 約3000要素
図形刻印条件 図形回転 0℃〜360℃
最小線幅 約0.05mm（fθ＝150mm、黒アルマイト使用）
太文字指定 0〜15
刻印位置指定 X,Y（0.01mm単位で指定）

■ユーティリティ及び運転条件・設置環境等
電源
仕様 仕様 単位
電圧 AC200±10%3φ V
電流 10（50/60Hz） A
接地 第3種接地 　
接続 2P、接地付き 　
ケーブル長 5 m
色分け R（赤）、S(白）、T（黒） 　
推奨漏電ブレーカ 定格電流 10 A
定格電圧 200 V
極数、素子数 2P 　
感度電流 100 mA
※貴社では当該電流ラインに何らかの漏電保護対策がとられている場合にはこの限りではありません。
冷却水（蒸留水）
容量 2.8リットル
交換 〜6ヶ月
設置
場所
  • レーザヘッド部は平坦場で剛性の高い架台に、所定のボルト穴を用いてネジ止めで固定して下さい。またはオプションの専用架台を用いることをお勤め致します。
  • ワークについてはヘッドと平行であること、刻印中に振動等の影響を受けないことが条件となります。
設置高さ
  • レーザヘッド部はLDハウス交換の時にハウス内の冷却水をタンクに逃がす為、制御部内め冷却水タンクの水面より高い位置に設置する必要があります。標準的には制御部の設置床面に対して50cm以上の位置に設置して下さい。

■操作上のご注意

本装置は本体に添付される取扱説明書を十分にご理解したうえで操作願います。特に内部に高電圧を発生する電源を含み、また強力なレーザ光を発生する為に、取扱いを誤ると大変危険です。レーザ光に関する安全基準としてはJlS ・C6802レーザ製品の安全基準に準した、対策を立てて下さい。

■保証及びメンテナンス

無償保障 取扱説明書等の注意書に従った正常な使用状態で発生する故障は納入検収後1年間無償修理をいたします。尚以下に例示される様な設計条件に合致しない条件で動作、保存された場合に発生する不具合や消耗品の交換についてはその限りではありません。
  • 光学素子の表面の汚れやそれに付随して発生する不具合
  • お客様によるLDハウスの交換により発生した不具合
  • ご使用上の誤り及び不当な修理や改造による不具合
  • 火災、地震、風水害、落雷その他天変地異等の不可効力な自然災害による不具合
一般保障、メンテナンス 上記無償保証の範囲外で本製品に不具合があった場合、装置移動の請け負い、一般点検調整のメンテナンス、取扱い説明について、以下について有償で対応いたします。
  • 交換部品代金実費
  • 技術料
  • 出張旅費、宿泊費
  • 輸送費、通信費
保障、メンテナンスに関する連絡先 受付窓口担当営業がお受け致します。貴社担当は右記の通りです。
　〒326-0842　栃木県足利市今福町706-2
　　　シグマサイバーテック株式会社 営業技術部
　　　　　TEL：0284-22-2570 FAX：0284-21-4826
メンテナンス担当 同上
受付け時間 午前9：00〜午後6：00 土曜、日曜、祭日を除く
対応時間（標準） 受付け後2日以内※

■据え付け及び調整等

 項目      場所      その他
 納品、据付   貴社指示場所   車上渡し
 取払い説明   同上      据付けと同時実施
 検収      同上      標準検収表による


■その他付帯事項

本仕様書に書かれていない事項で疑義が生じた場合は、双方の話し合いの上で決定致します。
本書に記載する内容は、本体の仕様、形状などの改良により予告なしに変更する場合がありますので、予めご了承願います。

■オプション光学パーツ

f・θレンズ

 ビームエキスパンダ

焦点距離（mm） 波長（nm）  品番 価格（\） 倍率（倍） 波長（nm） 品番 価格（\）
f＝100 1064 CTfθ−100 別途見積 3× 1064 CLBE−3 38,000
532 CTfθ−100G 別途見積 532 CLBE−3G 50,000
f＝150 1064 CTfθ−150 別途見積 6× 1064 CLBE−6 38,000
532 CTfθ−150G 別途見積 532 CLBE−6G 50,000
f＝300 1064 CTfθ−300 別途見積 8× 1064 CLBE−8 40,000
532 CTfθ−300G 別途見積 532 CLBE−8G 54,000

※その他の焦点距離への対応製作できます。

※その他の倍率へも対応製作できます。

■CTTM-LD(3)使用推奨レーザ及び製造・販売元（1部抜粋） ※目的により「最適レーザ」を提案します。

  • LYCM-LD20シリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝1.06μm、平均出力20W以上） （シグマ光機）

  • LYCM-LD20Gシリーズ（LD励起YAGグリーンレーザ：入＝532nm、平均出力5W以上） （シグマ光機）

  • Q200αシリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝1.06μm、平均出力200W以上） （片岡製作所）

  • AVIAシリーズ（LD励起YVO4レーザ：入＝1.06μm、平均出力40W以上） （コヒレント社）

  • AVIAシリーズ（LD励起YVO4レーザ：入＝532nm、平均出力20W以上） （コヒレント社）

  • INAZUMAシリーズ（LD励起YVO4レーザ：入＝1.06μm、平均出力35W以上） （スペクトラフィジックス社）

  • INAZUMAシリーズ（LD励起YVO4レーザ：入＝532nm、平均出力20W以上） （スペクトラフィジックス社）

  • SL185シリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝1.06μm、平均出力10W以上） （NEC）

  • Applied Harmonicsシリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝532nm、平均出力10W以上） （フォトンリサーチ）

  • Applied Harmonicsシリーズ（LD励起YAGレーザ：入＝355nm、平均出力5W以上） （フォトンリサーチ）

■関連製品

手動ステージ 自動ステージ レーザ電源（CW用大出力LD電源）


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